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真空热压烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下的应用!

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真空热压烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下的应用!

发布日期:2019-01-29 作者: 点击:

真空热压烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑。

真空热压烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下,利用中频感应加热的原理,使处于线圈内的钨坩埚产生高温,通过热辐射传导到工作上,适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。

因设备较复杂,建议专人使用,专人负责,对新手严格实行用前培训,用后检查,操作使用要有记录等设备使用规定。

真空热压烧结炉


炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。

冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。

在高温(超过200℃即视为高温)时,如果冷却水停止了,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下,利用中频感应加热的原理,使处于线圈内的钨坩埚产生高温,通过热辐射传导到工作上,适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。

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